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石英片镀膜要注意什么?

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石英片镀膜要注意什么?

发布日期:2018-09-11 作者:昊天 点击:

石英管厂家昊天小编今天和大家简单谈谈关于石英片磁控溅射镀膜需要注意什么。

一、优点

1、一般备有辅助离子源,可以用来清洗石英片,清洗效果好;

2、由于装有中和器,也可以用来制备绝缘膜层;

3、易于制备熔点高的材料;

4、制备合金膜层,可以保证膜层材料比例与靶材相同;

5、靶材粒子能量高(比热蒸发高出1个数目级),所制备膜层更致密,与石英片结协力更高


石英片



二、缺点

1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁;

2、一般镀膜速率较慢,每秒几十埃;

3、不适宜制备较大面积薄膜。

三、机器运行时的注意事项

1、关注真空度指标;

2、保持机器内舱各部位的清洁;

3、测试并记录镀好的石英振子主要指标,如:频率、电阻、DLD等;

4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度;

5、根据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;

6、检查并记录抽真空的时间,如有延长,立刻检查造成的原因;

7、将不良品挑出:电极错位、划伤、脏污、掉银等。

想要了解更多关于石英片的相关资讯,可以详细咨询石英管厂家昊天。


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